三氟化氮檢測報(bào)警儀從類型上可以分為固定在線式三氟化氮泄漏檢測儀和便攜手持式氟化氮NF3濃度報(bào)警器兩大類，主要用于使用三氟化氮作為電子工業(yè)特種氣體生產(chǎn)儲(chǔ)運(yùn)場所中檢測氟化氮的濃度值，并超標(biāo)進(jìn)行聲光振動(dòng)報(bào)警，以提醒作業(yè)人員注意，并可選配精密氣體采樣泵、溫濕度檢測、無線傳輸?shù)雀郊蚬δ堋?/div>
ERUN-PG51NF3固定在線式三氟化氮檢測報(bào)警儀適用于半導(dǎo)體芯片、平板顯示器、光纖、光伏電池等使用三氟化氮NF3作為等離子蝕刻氣體和反應(yīng)腔清洗劑的工況場所，固定式三氟化氮泄
ERUN-PG71S4-NF3便攜泵吸式三氟化氮檢測報(bào)警儀適用于平板顯示器、光伏電池、半導(dǎo)體芯片、光纖等使用三氟化氮NF3作為反應(yīng)腔清洗劑和等離子蝕刻氣體的工況場所，便攜式三氟化氮
